TOPCon电池生产工艺知识考试

本考试涵盖TOPCon电池制绒、硼扩散、碱抛、PE-poly、退火、氧化铝钝化、氮化硅镀膜、丝网印刷、烧结及现场管理等内容。请认真作答，考试题目含分值和答案解析。
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1.
TOPCon电池的英文全称含义是？
隧穿氧化层钝化接触
金属氧化物半导体接触
非晶硅异质结接触
发射极钝化接触
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2.
TOPCon电池的基底硅片类型是？
P型硅片
N型硅片
本征硅片
多晶硅片
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3.
TOPCon背面隧穿氧化层的典型厚度为？
0.1~0.5nm
1~2nm
10~20nm
100nm以上
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4.
TOPCon电池正面发射极是通过扩散哪种元素形成的？
磷（P）
硼（B）
砷（As）
锑（Sb）
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5.
制绒工序中，单晶硅在碱性溶液中发生的腐蚀是？
各向同性腐蚀
各向异性腐蚀
化学机械抛光
电化学腐蚀
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6.
制绒形成的金字塔绒面的主要作用是？
增加膜层厚度
降低光反射、增加光吸收
提高导电性
降低杂质浓度
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7.
硼扩散工序使用的硼源气体是？
BCl3
PH3
N2O
SiH4
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8.
碱抛1（背面刻蚀）工序的主要目的是？
去除正面BSG玻璃层
去除背面BSG玻璃层及绕扩硼层
沉积poly多晶硅
印刷金属电极
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9.
碱抛1工序需要保留正面哪一层以保护P型发射极？
poly层
BSG层
Mask掩膜层
氮化硅层
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10.
PE-poly工序中Mask掩膜层的主要作用是？
提高导电性
碱抛2去除绕镀时保护poly硅
降低光反射
形成PN结
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11.
PE-poly管式设备的工作温度范围是？
100~200℃
350~600℃
800~1000℃
1200℃以上
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12.
隧穿氧化层厚度的管控标准是？
1.7nm±0.15nm
5nm±0.5nm
10nm±1nm
0.5nm±0.05nm
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13.
椭偏仪测量隧穿层厚度采用的原理是？
椭圆偏振消光测量法
四探针法
电化学腐蚀法
原子力显微镜法
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14.
隧穿氧化层厚度的取样测试方式为？
单点测试
三点测试
五点测试
十点测试
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15.
退火工序的主要作用是？
形成金字塔绒面
使非晶硅晶化成多晶硅并激活掺杂
印刷电极
沉积隧穿氧化层
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16.
关于退火方阻的规律，下列说法正确的是？
退火时间越长、方阻越高
退火温度越高、方阻越高
退火时间越长、方阻越低
方阻与时间温度无关
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17.
ALD工序在电池正面沉积的薄膜是？
SiNx
Al2O3
SiO2
poly-Si
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18.
ALD沉积氧化铝所用的原料TMA指的是？
三甲基铝
三氯化硼
磷烷
硅烷
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19.
氧化铝场钝化的原理是？
氢钝化硅表面悬挂键
自带负电荷形成指向硅内部的电场，驱动少子离开界面
提高导电性
降低反射率
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20.
PECVD正面氮化硅膜层结构为？
单层氮化硅
三层氮化硅 氮氧化硅
双层氧化铝
四层poly
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21.
下列不属于PECVD镀膜目的的是？
减反射，降低光反射
硅片表面钝化
阻挡钠离子、金属离子扩散
形成PN结
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22.
PECVD生成SiNx薄膜通入的主要反应气体是？
SiH4 NH3
BCl3 O2
PH3 N2O
TMA H2O
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23.
丝网印刷的四个阶段顺序是？
填充→回转→稳定→离版
回转→填充→离版→稳定
稳定→离版→回转→填充
回转→稳定→填充→离版
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24.
四道印刷流程中，第三道印刷（主栅）之后经过烘箱再进行的是？
第一道印刷
第二道印刷
第四道印刷（细栅）
直接烧结
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25.
烧结工艺的主要作用是？
形成金字塔绒面
银电极与硅片形成欧姆接触并释放H原子钝化
沉积氧化铝
去除绕镀poly
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26.
四探针方阻测试仪中，外侧一对探针的作用是？
测量两点间电压
通入恒定电流
接地保护
测量温度
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27.
ECV的中文全称是？
电化学微分电容电压
椭圆偏振测试仪
四探针方阻仪
二次离子质谱仪
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28.
正、背膜特气的进气位置在炉管的哪个位置
炉口
炉中
炉尾
石墨舟
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29.
正、背膜工艺步压力的大小通过哪个控制
蝶阀
真空泵
薄膜硅
进气大小
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30.
ECV电化学微分电容电压测试属于哪类测试？
无损测试
破坏性测试
在线监测
纯光学测试
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31.
5S管理中“整理”的日文罗马音是？
SEITON
SEIRI
SEISO
SHITSUKE
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32.
IGV小车与机台对接时，距离对接皮带约多少厘米会自动关闭避障检测？
10cm
20cm
40cm
80cm
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33.
PE-poly工序的工艺气体包括（ ）【多选题】
SiH4
N2O
PH3
H2、N2
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34.
影响Poly膜厚的因素有（ ）【多选题】
沉积时间
射频功率
温度
特气流量（N2O/SiH4比例）
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35.
PE-poly同管原位沉积的四层膜依次为（ ）【多选题】
SiO2隧穿氧化层
轻掺poly
重掺poly
Mask掩膜层
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36.
PECVD镀膜的三个目的包括（ ）【多选题】
减反射，增加太阳光吸收
硅片表面钝化
阻挡钠离子、金属离子、水蒸气扩散
形成PN结
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37.
制绒工序的目的包括（ ）【多选题】
清洗硅片表面脏污
去除切割机械损伤层
形成金字塔绒面降低反射增加光吸收
沉积隧穿氧化层
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38.
氧化铝钝化分为哪两类（ ）【多选题】
场钝化
化学钝化
减反射
吸杂
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39.
5S管理包含的核心项目有（ ）【多选题】
整理
整顿
清扫
清洁
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40.
关于IGV小车操作的安全事项，正确的有（ ）【多选题】
与机台对接约40cm时自动关闭避障
对接期间严禁人员穿过IGV与机台间隙
手动操作IGV时避障检测关闭
拉料两人作业时一人看护一人操作
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41.
TOPCon电池属于P型太阳能电池。（ ）
对
错
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42.
TOPCon背面核心结构为超薄隧穿氧化层 掺杂多晶硅构成的钝化接触。（ ）
对
错
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43.
制绒工序中，单晶硅在碱性溶液中发生各向同性腐蚀。（ ）
对
错
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44.
PE-poly是TOPCon电池最关键的核心工序。（ ）
对
错
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45.
退火温度越高、时间越长，硅片方阻越低。（ ）
对
错
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46.
碱抛2工序的目的是去除正面、边缘多余poly，实现正反面电学隔离，防止电池漏电。（ ）
对
错
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47.
ALD原子层沉积的特点是沉积温度高、膜层均匀性差。（ ）
对
错
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48.
ECV电化学微分电容电压测试属于破坏性测试，理论上测量深度无限。（ ）
对
错
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49.
正背膜辅热管分部是上部三根下部二根
对
错
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50.
四探针方阻测试仪中，内侧一对探针用来通入电流。（ ）
对
错
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51.
5S管理中“整顿”的日文罗马音是SEITON。（ ）
对
错
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52.
IGV与机台对接时，距离对接皮带约40cm处自动关闭避障检测功能。（ ）
对
错
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53.
安全警示标志中，黄色三角形边框属于“禁止标志”。（ ）
对
错
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54.
Poly重掺增加磷烷流量（1080→1180sccm）两轮验证电性能填充有明显增益，验证通过。（ ）
对
错
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55.
ALD 36圈验证中，三轮36圈样品开路电压均高于42圈基准。（ ）
对
错
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56.
烧结工艺中，高温释放镀膜中的H原子扩散进电池内部，对硅片起钝化作用。（ ）
对
错
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